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日本大学 
工学部 
電気電子工学科 

更新日:2017/07/14 
教授 
池田 正則 
イケダ マサノリ 
IKEDA Masanori 

 

経歴 (公開件数:6件)
富士通株式会社  1985/04-1990/03 
日本大学助手  1990/04-1995/03 
日本大学専任講師  1995/04-2002/03 
日本大学助教授  2002/04-2006/03 
日本大学准教授  2006/04-2012/03 
日本大学教授  2012/04-現在 

学歴 (公開件数:2件)
日本大学  理工学部  電子工学科  1983  卒業  国内 
日本大学  大学院 理工学研究科  電子工学  博士前期  1985  修了  国内 

学位 (公開件数:2件)
工学修士  日本大学 
博士(工学)  日本大学 

研究分野 (公開件数:3件)
表面界面物性 
薄膜・表面界面物性 
電子・電気材料工学 

研究キーワード (公開件数:8件)
電子・電気材料工学 
表面界面物性 
Ta2O5 
Nb2O5 
陽極化成 
シリコン表面 
酸化 
走査型トンネル顕微鏡 

研究テーマ (公開件数:2件)
陽極化成Ta2O5,Nb2O5薄膜の電気伝導機構  2001-現在 
シリコン表面の初期酸化過程の研究  2006-現在 
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著書 (公開件数:1件)
基礎からの半導体工学  日新出版  2003/04/30 
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論文 (公開件数:42件)
Au水溶液浸漬によるAu/n-Si(100)ショットキー障壁の形成  表面科学  2012/03 
表面光電圧を用いた新しい多結晶シリコン薄膜の結晶粒径評価法  電子情報通信学会誌C  2012/02 
Alternating current surface photovoltage in thermally oxidized chromium-contaminated n-type silicon wafers  Applied Physics A  2011/05 
表面光電圧法による多結晶シリコン薄膜の結晶性評価  日本大学工学部紀要  2011/03 
Au/PMMA/Ta構造の電流-電圧特性と電気伝導  日本大学工学部紀要  2011/03 
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研究発表 (公開件数:185件)
ポスター発表  O2暴露により生じるSi(100)-(2×1)表面構造変化の温度依存性  2017年真空・表面合同講演会第37回表面科学学術講演会  2017/08/17 
ポスター発表  走査型トンネル顕微鏡によるSi(100)-(2×1)表面の初期酸化過程観察  平成28年度日本表面科学東北・北海道支部学術講演会  2017/03/09 
ポスター発表  交流表面光電圧法による熱酸化したSiにおける酸化膜電荷の評価  2016年真空・表面合同講演会第36回表面科学学術講演会  2016/11/30 
口頭発表(一般)  MWT型セル用単結晶シリコンウェハのレーザ穴明け加工  第77回応用物理学会秋季学術講演会  2016/09/16 
口頭発表(一般)  交流表面光電圧法を用いたSi極薄酸化膜中に生成する電荷量の評価  平成28年度電気関係学会東北支部連合大会  2016/08/31 
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知的財産権 (公開件数:1件)
特許  シリコン半導体薄膜の結晶性評価装置及び結晶性評価装置 
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その他研究業績 (公開件数:2件)
マイクロ波光導電減衰法および表面光電圧による半導体シリコンの評価 〜金属原子の挙動と汚染計測〜  2006/07/14-2006/07/14 
超高集積化半導体デバイス対応の誘電体薄膜及び半導体表面科学に関する研究  2004/11/12-2004/11/12 
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担当授業科目 (公開件数:11件)
電気工学 
電気電子製作実習 
電気電子基礎実験Ⅰ 
電気電子基礎実験Ⅱ 
半導体デバイス 
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所属学協会 (公開件数:3件)
電子情報通信学会 
日本表面科学会 
応用物理学会 
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委員歴 (公開件数:11件)
日本表面科学会  表面科学会東北・北海道支部企画幹事  1999/04-2011/05 
日本表面科学会  会誌編集委員  2000/07-2004/06 
日本表面科学会  東北・北海道支部副支部長  2011/05-2013/05 
日本表面科学会  東北・北海道支部支部長  2013/05-2015/05 
日本表面科学会  常務理事,支部担当理事  2013/05-2015/05 
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